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TORRI多级罗茨真空泵可为抽空load lock腔体提供结构紧凑、高效节能的解决方案。

[打印]发布时间:2022-01-21    有效期:2022-01-21 至 2025-01-22    点击:87
   该泵具有低极限压力和出色腔体抽真空时间等特点。

TORRI BD 是市场上小尺寸、低重量的 高效 干式多级罗茨真空泵之一。因此,该款真空泵是用于抽空 load lock 腔体的理想解决方案。

  依托其久经验证的工作原理,它们可以实现 低极限压力 。其出色的腔体抽真空时间进一步缩短了总平均循环周期。

  完全开放的通信协议 (Modbus RTU) 可以使用标准接口组件轻松适用特定的网络协议。

  选配的 LCD 控制器可以 轻松监控 真空泵的状态。可以显示所有相关参数,如电机温度、电机电流、冷却水流量和泵体温度。

  罗茨真空泵和鼓风机依据久经考验的罗茨原理运行。两个螺旋转子平行安装在壳体内, 这些三叶转子沿相反方向运转。通过凸轮转子的旋转运动吸入泵送介质、对其进行压缩并将其输送至下一级或出口。

祁佳强
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  凸轮转子既不相互接触,也不与外壳接触。因此,工艺室内无需添加任何润滑液或工作液。

  两个凸轮转子由位于齿轮箱轴端并与压缩腔室分离的一对齿轮驱动, 如此可确保精确的同步转子运转。

  用于 load lock 腔体的紧凑、高效解决方案:

  低振动、低噪声级

  重量轻盈

  尺寸小巧

  采用干式和非接触式工作原理

  使用寿命长

  总拥有成本低

  优势:

  

 

  北京汉达森机械技术有限公司是一家专业从事欧洲工业产品进口贸易的公司。主要产品有工业自动化设备、机电设备、液压设备、电气设备和零部件等产品。公司总部于2007年在德国成立。公司自成立以来,一直以德国公司的身份为国内一些贸易商,设备商及终端客户提供产品代购服务。

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