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| 品牌PI | 有效期至长期有效 | 最后更新2021-04-22 16:18 |
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PI动态纳米定位器P-363系列参数
P-363 笔克管 XY (Z) 皮佐扫描仪
用于扫描探针显微镜的动态纳米定位器
· 用于自动对焦 /SPM 的超高性能闭环扫描仪
· 用于生物/纳米技术的紧凑型操作工具
· 共振频率 9.8 kHz，PI动态纳米定位器吴亚男用于特别快速的扫描
· 引导误差自动补偿的并行测量技术
· 分辨率 50 象形仪
· 旅行范围 5 μm × 5 μm × 5 μm
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P-363.3CD |
P-363.2CD |
单位 |
浮动值 |
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活动轴 |
X、Y、Z |
X， Y |
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运动和定位 |
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集成传感器 |
电容的 |
电容的 |
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旅行范围在 X， Y 在 -250 到 +250 V， 打开循环 |
±3 |
±3 |
μm |
20% |
|
Z 中的旅行范围为 -250 至 +250 V，打开环路 |
±2.7 |
- |
μm |
20% |
|
X、Y、闭环旅行范围 |
±2.5 |
±2.5 |
μm |
|
|
Z 中的旅行范围，闭环 |
±2.5 |
- |
μm |
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|
分辨率，打开循环* |
0.03 |
0.03 |
纳米 |
泰普 |
|
分辨率，闭环 |
0.1 |
0.1 |
纳米 |
|
|
线性错误 |
0.05 |
0.05 |
% |
泰普 |
|
可重复性** |
1 |
1 |
纳米 |
泰普 |
|
投/偏航在X，Y |
0.5 |
0.5 |
乌拉德 |
泰普 |
|
以 Z 中运动倾斜 |
0.2 |
- |
乌拉德 |
泰普 |
|
X、Y中的直度 |
3 |
3 |
纳米 |
泰普 |
|
X、Y中的平整度 |
•lt：10 |
•lt：10 |
纳米 |
泰普 |
|
Z中运动的相声 |
5 |
- |
纳米 |
泰普 |
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机械特性 |
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X，Y中的共振频率，卸载 |
3.1 |
4.2 |
千 赫 |
±20% |
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Z中的共振频率，卸载 |
9.8 |
- |
千 赫 |
±20% |
|
X、Y负载下的共振频率 |
1.5 （20 克） |
2.1 （20 克） |
千 赫 |
±20% |
|
负载容量 |
10 |
10 |
N |
max |
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陶瓷类型 |
皮卡， 皮卡剪 |
皮卡剪切 |
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杂项 |
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工作温度范围 |
-20 至 80 |
-20 至 80 |
°C |
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材料 |
钛 |
钛 |
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尺寸 |
30 毫米× 30 毫米× 40 毫米 |
30 毫米× 30 毫米× 28 毫米 |
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质量 |
225 |
190 |
g |
±5% |
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
m |
±10毫米 |
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传感器/电压连接器 |
D-子 24W7 （m） |
D-子 24W7 （m） |
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推荐电子产品 |
E-536 |
E-536 |
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应用范围
· 扫描探针显微镜
· 原子力显微镜
· 扫描和筛选
由于零播放弹性指南，指导精度高
Flexure 指南不含维护、摩擦和磨损，不需要润滑。PI动态纳米定位器吴亚男 它们的刚度允许高负载容量，并且对冲击和振动麻木不仁。它们 100% 真空兼容，在宽温范围内工作。
由于平行位置测量，纳米范围内的跟踪精度很高
所有自由度都是用一个固定的参考来衡量的。PI动态纳米177定1858位3804器轴之间不受欢迎的相声可以实时(取决于带宽)得到积极补偿(主动引导)。即使在动态操作中，纳米范围内也会实现高跟踪精度。
带电容传感器的子纳米分辨率
电容式传感器在不接触的情况下使用亚纳米分辨率进行测量。它们保证了 kHz 范围内出色的运动线性、长期稳定性和带宽。
自动配置和快速组件交换
力学和控制器可以根据需要进行组合并快速交换。PI动态纳米177定1858位3804器 所有伺服和线性化参数都存储在力学 D 子连接器的 ID 芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
| 吴亚男 QQ：2853369884 手机：17718583804 电话：010-64714988-212 传真：010-64714988-668 邮件：tk2@handelsen.cn |
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PI动态纳米定位器P-363系列参数
